在半导体制造领域，光刻机作为核心设备，其精度直接决定芯片的制程水平。随着技术进步与设备迭代，二手光刻机的翻新需求日益增长，而高精度运动控制部件（如丝杆）的升级是翻新过程中的关键环节。本文以BNK1402丝杆为例，探讨其在光刻机翻新及Mask Aligner（掩

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